Richi´s Lab

MEMS-Bauteile

 

2-Achsen-Beschleunigungssensor
Analog Devices ADXL213

 

3-Achsen-Beschleunigungssensor
ST AIS328DQ

 

Thermischer Beschleunigungssensor
Thyracont Inclinos

 

DLP - Digital Light Processing
TI DMD1076

 

MEMS-Mikrofon
Hosiden KRM5603

 

MEMS-Mikrofon
ST MP23DB01

 

 

 

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