Der L2G2IS ist ein 2-Achsen-Gyroskop von ST Microelectronics. Untergebracht ist der Sensor in einem LGA16-Epoxidpackage.
Die vorliegenden Aufnahmen des im L2G2IS enthaltenen MEMS stammen von Dirk Zielke.
Den Großteil der Fläche nehmen vier dreieckige Sensormassen ein. Den
Federelementen nach zu schließen schwingen die Massen rechts und links
horizontal. Die Massen oben und unten schwingen demnach vertikal.
Externe
Bewegungen in X- und in Y-Richtung führen bei jeweils zwei der oszillierenden
Massepaare zu einer Bewegung in Z-Richtung. Der Abstand zum Substrat ändert sich
und damit auch die Kapazität, die sich relativ problemlos bestimmen lässt.
An den Kanten rechts und links des Bausteins befinden sich kammförmige Strukturen, die einen horizontalen Antrieb darstellen. Die vertikale Schwingung der Elemente oben und unten wird durch eine Umlenkung der horizontalen Bewegung realisiert.
Der horizontale Antrieb bewegt die nach rechts folgende Sensormasse direkt. Der in der oberen Ecke der Sensormasse angeordnete Winkel wandelt zusätzlich die horizontale Bewegung in eine vertikale Bewegung um, die zur folgenden Sensormasse geleitet wird. Um das darstellen zu können, ist der Winkel in seinem Ursprung über relativ lange Federelemente an ein fix platziertes Quadrat angebunden.
