Richi´s Lab

4"-Wafer - U840 Funkwerk Erfurt

U840 Wafer

U840 Wafer

Der Mikrocontroller U840 wurde auf 3"-Wafer und auf 4"-Wafer gefertigt. Hier sind zwei 4"-Wafer zu sehen. Während auf dem 3"-Wafer ungefähr 56 vollständige Schaltkreise Platz fanden, konnten auf dem 4"-Wafer schon 105 Schaltkreise abgebildet werden. Für die Belichtung des 3"- und des 4"-Wafers scheint die gleiche Maske zum Einsatz gekommen zu sein. Dafür spricht, dass die Anordnung der Test- und Hilfsstrukturen die gleiche ist. Der Wafer trägt einige Teststrukturen, darunter fünf Zweier-Blöcke und zwei alleinstehende Quadrate. Außerdem ist in einem Quadrat ein Pfeil abgebildet. Auf dem unteren Wafer wurden alle ICs als Ausschuss markiert. Es erscheint unwahrscheinlich, dass der obere Wafer vollständig fehlerfrei ist. Wahrscheinlich wurde dieser Wafer nicht freigetestet, nicht markiert oder wieder gereinigt.

 

U840 Wafer

U840 Wafer

Auf der Rückseite des einen Wafers findet sich ein interessantes Artefakt.

 

U840 Wafer Teststrukturen

Im Detail betrachtet sind die Teststrukturen die gleichen wie sie auch auf dem 3"-Wafer abgebildet wurden.

Dieses Bild ist auch in einer höheren Auflösung verfügbar: 157MB

 

U840 Wafer Teststrukturen

Dieses Bild ist auch in einer höheren Auflösung verfügbar: 165MB

 

U840 Wafer Teststrukturen

Die hier zu sehende Teststruktur hatte auf dem 3"-Wafer keinen Platz, sie findet sich aber auf dem 4"-Wafer des MP609. Hier scheint im Vergleich eine Maske mehr zum Einsatz gekommen zu sein.

Dieses Bild ist auch in einer höheren Auflösung verfügbar: 72MB

 

U840 Wafer Teststrukturen

Der U840 auf dem 4"-Wafer unterscheidet sich nicht von dem U840 auf dem 3"-Wafer.

Dieses Bild ist auch in einer höheren Auflösung verfügbar: 81MB

 

zurück
oder unterstützt mich über Patreon
Creative Commons Lizenzvertrag