Der hier zu sehende 64kBit-DRAM U2164 wurde im März 1988 im Zentrum für Mikroelektronik Dresden gefertigt. Viele Hintergrundinformationen zum U2164 finden sich im Rahmen der Dokumentation des Tesla MHB4164, der ebenfalls einen U2164 enthält. Die Zahl 20 kennzeichnet den Grundtyp. Daneben gab es den etwas schnelleren Selektionstyp und drei langsamere Sortierungen: zwei sogenannte Anfalltypen und einen sogenannten Amateurtyp
Die Abmessungen des Dies betragen wie beim Tesla MHB4164 7,1mm x 3,4mm.
Dieses Bild ist auch in einer höheren Auflösung verfügbar: 36MB
An der linken Kante befindet sich die Bezeichnung U2164 und die Zahl 5, die auf die 5. Revision des Designs verweist.
Die Strukturen sind hier noch etwas besser zu erkennen. Durch die hohe Dichte bleibt der Bereich der Speicherzellen trotzdem unübersichtlich.
Dieses Bild ist weniger hoch aufgelöst, zeigt aber wo sich die Dummyzellen befinden, die beim Auslesen einer Speicherzelle den Referenzwert darstellen. Die Dummyzellen sind abwechselnd in zwei Spalten oberhalb des Speicherbereichs angeordnet.
An der Seite des Gehäuses ist der Teil des Stanzgitters sichtbar, auf dem sich das Die befindet. Dort kann man die Spannung messen, die die integrierte Ladungspumpe erzeugt. Bei einem anderen U2164 (Datecode März 1989) beträgt diese Spannung -1,7V. Über das Stanzgitter liegt das Potential am Substrat an und optimiert so die Kennlinie der integrierten Transistoren.
Jeder der acht Speicherblöcke im U2164 besitzt eine Reservezeile und zwei Reservespalten. Das erhöht die Ausbeute erheblich, da bei Fehlern im Speicher auf diese Reservebereiche umgeschaltet werden kann. Die Umschaltung erfolgt über einen Bereich an der rechten Kante des Dies. Dort befinden sich einmal 32 und einmal 36 Fuses. Um die Fuses auszulösen wird der Bereich offensichtlich über drei Testpads versorgt.
Oberhalb der Fuses sind hier große Transistoren zu sehen, die den Auslösestrom fließen lassen. Die Auswahl der notwendigen Fuses erfolgt anscheinend über die Adressierungsschnittstelle. Der Bereich der Fuses sieht etwas unsauber aus, weil in diesem Bereich die Passivierungsschicht ausgespart wurde. Das ist notwendig, damit ein Auslösen einer Fuse zu einer sicheren Unterbrechung der Verbindung führt. Außerdem ist so sichergestellt, dass das Auslösen nicht zu größeren Schäden in der umgebenden Passivierungschicht führt.
Wie die Umleitung der Adressen auf die Reservebereiche erfolgt bleibt unklar. Üblicherweise wird dazu die Adressdekodierung verändert. Die Modifikation der Adressierung erlaubt keinen vollkommen beliebigen Austausch von Speicherzellen, oft reicht sie aber aus, um alle defekten Zellen auszublenden.
