Eine umfangreiche Dokumentation des U61000 findet sich im Rahmen des U61000 (A2), der im Februar 1990 produziert wurde. Der hier dokumentierte U61000 wurde etwas früher, im August 1989 produziert. Auf dem Gehäuse ist das Carl Zeiss Jena Logo abgebildet.
Das Die ist genauso groß und genauso aufgebaut wie das Die im U61000 (A2). Das war zu erwarten.
Das Bild des Dies ist auch in einer höheren Auflösung verfügbar: 51MB
Im Gegensatz zum U61000 (A2) gehört der hier dokumentierte DRAM zu der Mehrzahl der Bausteine, die initial nicht fehlerfrei waren. Zum Jahreswechsel 1989 / 1990 betrug die Ausbeute 3%. Durch die Nutzung von redundanten Bereichen konnte man die Ausbeute auf 10% erhöhen.
Es zeigt sich, dass hier drei der vier Reservezeilen und drei der vier Reservespalten aktiviert wurden. In den inneren zwei Speicherblöcken benötigte man Reservezeilen und Reservespalten. In den äußeren zwei Speicherblöcken war jeweils eine Option ausreichend.
Hier sind die modifizierten Sicherungsstreifen zu sehen. Wie im Rahmen des U61000 beschrieben, hat man die einzelnen Leitungen chemisch aufgelöst. Dafür wurden die Bausteine auf dem Wafer getestet und die notwendigen Korrekturmaßnahmen für jeden einzelnen U61000 abgespeichert. Nach dem erneuten Auftrag eines Fotolacks erfolgte eine individuelle Belichtung mit Hilfe von Elektronenstrahllithografie. So war es möglich die gewünschten Leitungen selektiv chemisch aufzulösen. Der Ätzprozess hat ein Stück weit die Rahmenstruktur angegriffen.
Fehler im Aufbau des Speichers sind in der Übersicht nur schwer zu erkennen. In diesem Ausschnitt sind zwei Leitungen der Metalllage miteinander verbunden.
Das Muster im linken Bereich dieses Bilds erscheint stark gestört. Man kann aber nicht mit Sicherheit sagen, dass hier ein Defekt vorliegt. Es könnte sich auch um eine Störung im Schichtaufbau handeln, die sich nur optisch auswirkt.
