Der SHT21 (rechts) ist ein von Sensirion entwickelter Feuchtigkeits- und Temperatursensor. Die Kantenlänge des DFN-Gehäuses beträgt nur 3mm. Die Feuchtigkeit wird mit 12Bit aufgelöst, die Temperatur mit 14Bit. Die Daten gibt der Baustein über einen I2C-Bus aus. Die Stromaufnahme beträgt dabei nur 300µA (@3V).
Selbst bei sehr hohen Stückzahlen kostet der SHT21 über 6€. Gleichzeitig werden Aufsteckplatinen, die den STH21 enthalten sollen, für weniger Geld angeboten. Das Bauteil links und mittig im Bild stammt von einer solchen Platine. Ist auf dem Baustein eine Schutzschicht aufgeklebt, wie es hier der Fall war, dann ist der offensichtliche Unterschied der Sensoraussparung nicht zu erkennen. Aufgefallen ist der Sensor durch seinen verhältnismäßig großen Messfehler.
Das Gehäuse trägt eine Pin1-Markierung und die Buchstaben AEKT. Eine derartige Beschriftung ist typisch für Temperatur-/Feuchtigkeitssensoren von Silicon Labs.
Der Ausschnitt im Gehäusematerial hat auf der Ebene des Dies einen Durchmesser von 0,9mm.
Das Die des Bausteins nimmt mit 2,1mm x 1,2mm einen großen Teil des Gehäuses ein. Um den runden, aktiven Bereich herum schützt eine massive Metalllage die darunter liegenden Schaltungsteile vor Umgebungslicht. Lichteinfall könnte zu unerwünschten Stromflüssen im Silizium führen.
Das Die besitzt einige freie Bondpads. Es ist gut möglich, dass diese Kontakte für einen Abgleich während der Fertigung genutzt wurden.
Laut Datenblatt bestimmt der SHT21 die Luftfeuchtigkeit über eine Kapazitätsänderung. Üblicherweise wird dabei die Kapazität eines Plattenkondensators überwacht, in dem sich ein Material befindet, dass die Luftfeuchtigkeit aufnimmt und im Verhältnis dazu seine Permittivität ändert.
Das Sensorelement des vorliegenden Bauteils besteht aus zwei Halbkreisen, die mit ineinandergreifenden Elektroden aufgebaut sind. Die Konstruktion erinnert eher an einen resistiven Feuchtigkeitssensor. Nach welchem Prinzip der Sensor arbeitet lässt sich optisch nicht eindeutig klären.
In der unteren linken Ecke des Dies sind einige Masken abgebildet.
In den anderen Ecken sind gerade so einige Bezeichnungen zu erkennen. In der rechten unteren Ecke könnte sich die Zeichenfolge Silicon Labs befinden. Silicon Labs fertigt resistive Feuchtigkeitssensoren. Es existiert allerdings kein Sensor mit der Bezeichnung Si7010, die sich in der linken oberen Ecke findet.
