Richi´s Lab

Microsystems International ML709

ML709

Der ML709 gehört zur Familie der 709-Operationsverstärker. Eine Analyse der 709-Schaltung findet sich im Rahmen der Dokumentation des LM709.

Der Baustein wurde von Microsystems International gefertigt, einem kanadischen Halbleiterhersteller. Spezifisch ist der mit römischen Zahlen aufgebaute Datecode.

 

ML709 Die

Die Schaltung entspricht den anderen 709-Varianten, die Bauteile sind grundsätzlich gleich angeordnet, wenn auch teilweise etwas verschoben.

 

ML709 Die Detail

Die Eckstruktur in der unteren rechten Ecke des Dies enthält mehrere Elemente, über die die Ausrichtung der Masken geprüft werden kann.

Die abgebildete Zeichen 709 B lassen vermuten, dass es sich um eine zweite Revision des Designs handelt.

 

ML709 Die Masken

ML709 Die Masken

An der rechten Kante des Dies sind sechs Masken abgebildet: 1/2/4/5/6/8. Der Herstellungsprozess gleicht anscheinend dem Prozess, der im Rahmen des LM306 genauer beschrieben ist: Auf einem p-dotierten Substrat werden mit der Maske 1 stark n-dotierte Bereiche aufgebracht, die später als Kollektorzuleitungen dienen. Eine vollflächige, n-dotierte Schicht bedeckt diese Strukturen. Die zweite Maske definiert stark p-dotierte Grenzen, die die verschiedenen Schaltungsteile voneinander isolieren. Die Maske 4 formt p-dotierte Bereiche, die als Widerstände dienen und in npn-Transistoren den Basisbereich darstellen. Der Farbe der Zahl 4 nach zu schließen, wurde diese Maske invers angewendet. Die leicht graue Färbung findet sich in den aktiven Bereichen überall mit Ausnahme der Widerstände und der Basisflächen. Über die Maske 5 wird eine starke n-Dotierung eingebracht, die in den npn-Transistoren den Emitter darstellt und zusätzlich eine niederohmige Kontaktierung der tieferliegenden Kollektorzuleitungen ermöglicht. Die Maske 6 generiert Durchkontaktierungen und die Maske 8 strukturiert die Metalllage.

 

ML709 Die Detail

Die 25kΩ-Widerstände in den Kollektorzweigen der Eingangstransistoren weisen eine interessante Form auf. Sie sind als mehrfach geschwungene, symmetrische Streifen an der oberen Kante abgebildet.

 

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